有一種更好的測量方法可以獲得較好的測量結果，這就是使用電子高度測量儀或成形系統。這兩種測量儀器本身都具有較高的測量精度。因此，這種方法不是采用直尺與零件進行對比測量，而是通過量規，將零件與一個內部的基準表面進行對比。高度測量儀和成形機械的基本測量功能和測量方法是相同的。

上述這兩種測量方法都采用一個內部測量基準和一個隨著測量表面運動的傳感測量頭，并通過傳感器對測量表面與基準表面的變化進行比較。兩者之間的偏差就是測量的結果或是被測表面的平直度。知道這個偏差值以后，就可以應用公差范圍以及根據所要求的公差尺寸，確定零件的表面測量結果。

如同其他的測量系統一樣，其所使用的測量儀器必須符合零件的要求。有些高度測量儀的精度為0.0002in，而其他一些測量儀，包括某些成形系統，它們的測量精度可以達到0.00001in。其傳感測量頭可以是結構比較簡單的數字指示器，也可以是比較精密的數字編碼器探頭。

根據不同的高度測量儀或成形系統，可以對比表面長度和這個長度上測量點的數量，設置各種參數。幾乎在各種情況下，只要向其發出一個啟動指令，測量就可以馬上開始。隨著系統將線條進行規格化處理，并自動地去除角度偏差，就可以自動地顯示出測量結果了。

最終測量結果是一幅被測平直度的黑白圖像資料，沒有紅色或藍色的陰影，用戶能夠更容易地看懂結果。