摘要：對(duì)現(xiàn)有的激光鉆孔盲孔板板流程進(jìn)行分析，提出改善激光盲孔對(duì)位精度方法并進(jìn)行實(shí)驗(yàn)及分析。 關(guān)鍵詞：激光鉆孔 盲孔 對(duì)位 定位標(biāo)靶 一現(xiàn)狀 隨著板件向小型化及高密度方向發(fā)展，越來(lái)越多的板件采用埋盲孔方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高密度互連，激光鉆孔是實(shí)現(xiàn)微小盲孔的方法之一。激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)于板件的可靠性也提出越來(lái)越高的要求，對(duì)于盲孔來(lái)說(shuō)高的可靠性要求有大面積的良好連接，激光盲孔良好的對(duì)位精度是一個(gè)關(guān)鍵因素。首先需說(shuō)明激光鉆盲孔精度要求有兩個(gè)：即激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)和外層焊盤(pán)之間的對(duì)位精度。 我公司現(xiàn)有的影響激光鉆孔盲孔板件對(duì)位精度的流程為： 1、利用通孔的鉆孔標(biāo)靶定位鉆出定位孔； 2、由定位孔定位通過(guò)激光孔點(diǎn)菲林做出外層激光窗和激光鉆孔定位標(biāo)靶； 3、激光鉆機(jī)尋找激光鉆孔定位標(biāo)靶，然后鉆激光盲孔； 4、外層圖形轉(zhuǎn)移做出盲孔外層焊盤(pán)。 二分析 1、各流程可能存在的產(chǎn)生誤差原因： （1）鉆定位孔 A、X光機(jī)本身系統(tǒng)誤差； B、板件不平，造成沖標(biāo)靶沖不準(zhǔn)； C、上鉆孔管們釘不緊； D、鉆機(jī)本身系統(tǒng)誤差； E、鉆頭固定不牢； F、板件不平，膠帶貼不緊。 （2）做激光窗： A、激光孔點(diǎn)菲林變形； B、激光孔點(diǎn)菲林對(duì)位不準(zhǔn)。 （3）激光鉆孔： A、激光鉆孔機(jī)本身系統(tǒng)誤差； B、板件不平造成讀不準(zhǔn)； C、板件夾不緊。 （4）外層圖形轉(zhuǎn)移： A、菲林變形； B、菲林對(duì)位不準(zhǔn)。 可以看出，以上影響激光鉆盲孔對(duì)們精度的大部分原因都是操作問(wèn)題，可以通過(guò)嚴(yán)格操作來(lái)改善。除了操作之外就是系統(tǒng)誤差及定位方式，改善系統(tǒng)誤差成本過(guò)高，幫應(yīng)將重點(diǎn)放在定位方式的改進(jìn)上。 2定位方式的分析： 現(xiàn)有的定位方式是用通孔的標(biāo)靶鉆定位孔，然后由此類定位孔定位做激光窗口及激光定位標(biāo)靶于外層，激光鉆機(jī)讀取外層激光定位標(biāo)靶位置后鉆孔。 此定位方式存在以下問(wèn)題： X光機(jī)沖通孔標(biāo)靶時(shí)，對(duì)各內(nèi)層的鉆機(jī)標(biāo)靶進(jìn)行統(tǒng)一折中補(bǔ)償，所確定的值與盲孔內(nèi)層焊盤(pán)所在層的標(biāo)靶值存在偏差。隨后根據(jù)此標(biāo)靶鉆出的定位孔，蝕刻出的激光窗口及激光定位標(biāo)靶不能反映盲孔內(nèi)層焊盤(pán)所在層的變化。以此種定位方式鉆出來(lái)的激光孔相對(duì)于外層激光窗口及盲孔外層焊盤(pán)偏差較小，但相對(duì)于盲孔內(nèi)層焊盤(pán)偏差較大。 由上述分析可知，如果將激光定位標(biāo)靶直接做在內(nèi)層，則可以在鉆孔時(shí)直接反映盲孔內(nèi)層焊盤(pán)所在層的變化情況，改善激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)的對(duì)位偏差。但是激光孔與外層激光窗口及盲孔外層焊盤(pán)的對(duì)位偏差則偏大。如果用盲孔內(nèi)層焊盤(pán)所在層的標(biāo)靶定位，然后來(lái)做激光窗口則可以改善激光孔與激光窗口的對(duì)位偏差，但是對(duì)外層焊盤(pán)的對(duì)位偏差則不會(huì)改善。根據(jù)內(nèi)層菲林的變化對(duì)外層菲林進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，來(lái)改善激光孔對(duì)外層焊盤(pán)的對(duì)位偏差，但同時(shí)對(duì)通孔的對(duì)位造成影響，故此次實(shí)驗(yàn)暫不考慮外層線路菲林的補(bǔ)償。 三實(shí)驗(yàn) 1、根據(jù)以上分析，我們選取15塊6層埋盲孔板（包括1-2層及5-6層盲孔），采用三種定位方法進(jìn)行對(duì)比實(shí)驗(yàn)（每種方法5塊板）： （1）1-6層鉆孔標(biāo)靶鉆定位孔，外層激光定位標(biāo)靶（目前我公司的做法） （2）1-6層鉆孔標(biāo)靶鉆定位孔，內(nèi)層激光定位標(biāo)靶（改善盲孔與內(nèi)層焊盤(pán)的對(duì)位） （3）1-2及5-6層鉆孔標(biāo)靶分別鉆定位孔，內(nèi)層激光定位標(biāo)靶（改善盲孔與內(nèi)層焊盤(pán)及激光窗口的對(duì)位）。 2、在層壓，激光鉆及外層蝕刻后進(jìn)行檢測(cè)（檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)附表）： （1）1-6,1-2及5-6層鉆孔標(biāo)靶層壓后的尺寸變化(X光機(jī)檢測(cè),單位為mil)； （2）激光孔與激光窗口之間的對(duì)位情況（孔與窗口偏移的最大寬度，用百倍放大鏡測(cè)量，單位為mil）； （3）激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)的連接情況（孔與內(nèi)層焊盤(pán)連接面的最大寬度，用百倍放大鏡測(cè)量，單位為mil）； （4）激光孔與外層焊盤(pán)的連接情況（最小環(huán)寬，用百倍放大鏡測(cè)量，單位為mil）； （5）激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)的對(duì)位精度（測(cè)量板邊的激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)對(duì)位精度的標(biāo)靶，單位為mil）； 3、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析： 從激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)對(duì)位精度標(biāo)靶的測(cè)試結(jié)果看，用內(nèi)層激光定位標(biāo)靶的板孔精度較高（反映相對(duì)于內(nèi)層焊盤(pán)的精度）。但由于與外層激光窗口的偏差，導(dǎo)致最終與內(nèi)層相連的面積比現(xiàn)有的定位方法稍微偏? ＜す飪子臚獠愫概潭暈黃釙榭齟巳址椒ǘ疾畈歡啵肝娑疾緩茫Ω檬嗆肝嬙獠閬唄販屏侄暈徊蛔級(jí)斐傘? 四結(jié)論 從以上三種定位方法的實(shí)驗(yàn)結(jié)果可以看出，用內(nèi)層激光定位標(biāo)靶定位進(jìn)行激光鉆孔可以提高激光鉆孔的對(duì)位精度（第（2），（3）種方法；但第（3）種方法需要多鉆兩對(duì)標(biāo)靶,影響生產(chǎn)效率，且激光孔對(duì)激光窗口的對(duì)準(zhǔn)情況改善不大，故宜采用第（2）種方法），但是為了保證良好的連接面積，應(yīng)該適當(dāng)加大激光窗口。 板件編號(hào) 對(duì)位方法層壓后1-6層標(biāo)靶變化層壓后1-2層標(biāo)靶變化層壓后5-6層標(biāo)靶變化激光鉆孔精度（1-2）激光鉆孔精度（5-6）激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)連接情況（1-2）激光孔與內(nèi)層焊盤(pán)連接情況（5-6）激光孔與外層焊盤(pán)連接情況（1-2）激光孔與外層焊盤(pán)連接情況（5-6）激光孔與激光窗口對(duì)位偏離（1-2）激光孔與激光窗口對(duì)位偏離（5-6）31-6層鉆孔，外層激光定位4.453.982.513.253.54.434.720.98崩孔3.193.15101-6層鉆孔，外層激光定位6.143.783.783.54.54.184.130.30.33.42.56141-6層鉆孔，外層激光定位5.242.563.46563.692.560.391.373.352.95161-6層鉆孔，外層激光定位4.694.093.393.53.54.434.040.69崩孔3.152.56171-6層鉆孔，外層激光定位4.963.314.416.2542.764.720.390.983.32.611-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位6.615.353.94234.384.530.39崩孔3.494.2881-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位5.673.623.11333.544.721.670.25.214.23131-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位6.813.273.113.2543.344.631.38崩孔5.114.23151-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位5.513.781.973.54.254.334.720.30.445.013.05181-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位4.693.074.642.252.52.313.991.32崩孔6.795.8141-2及5-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位6.975.874.491.751.53.943.791.080.393.845.0171-2及5-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位4.612.763.72.53.754.044.721.67崩孔4.973.99111-2及5-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位5.835.244.021.2514.623.840.49崩孔3.745.22191-2及5-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位4.373.112.993.252.753.442.76崩孔0.25.226.59201-2及5-6層鉆孔，內(nèi)層激光定位6.186.144.172.513.353.640.30.795.415.61